你好!欢迎来到葡京娱乐网址有限企业
微信扫一扫|加入收藏|English| Russian|Spanish
400-677-0098
您当前的位置:葡京娱乐场手机版11221>产品中心 > 碳材料热工装备

   立式化学气相沉积炉(碳化硅)



   该立式化学气相沉积炉可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。


   技术特征


本化学气相沉积炉采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

本化学气相沉积炉采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。



立式化学气相沉积炉(碳化硅)产品规格


参数\型号

VCVD-0305-SIC

VCVD-0608- SIC

VCVD-0812- SIC

VCVD-1015- SIC

VCVD-1120- SIC

VCVD-1520- SIC

工作区尺寸D×H(mm)

Φ300×500

Φ600×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1100×2000

Φ1500×2000

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性(℃)

±5

±5

±7.5

±7.5

±10

±10

极限真空度(Pa)

50

50

50

50

50

50

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67